টাইটানিয়াম টার্গেট ব্লক

টাইটানিয়াম টার্গেট ব্লকের সলিডগুলিতে অমেধ্য এবং ছিদ্রগুলিতে অক্সিজেন এবং আর্দ্রতা জমা হওয়া ছায়াছবির দূষণের প্রধান উত্স। বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য লক্ষ্যগুলির বিভিন্ন অপরিষ্কার সামগ্রীর জন্য বিভিন্ন প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। উদাহরণস্বরূপ, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের জন্য খাঁটি অ্যালুমিনিয়াম এবং অ্যালুমিনিয়াম খাদ লক্ষ্যগুলির ক্ষারীয় ধাতব সামগ্রী এবং তেজস্ক্রিয় উপাদান সামগ্রীর জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।

লক্ষ্য সলিডগুলিতে ছিদ্রগুলি হ্রাস করতে এবং স্পটারড ফিল্মগুলির কার্যকারিতা উন্নত করার জন্য, লক্ষ্যটিতে সাধারণত উচ্চ ঘনত্ব থাকা প্রয়োজন। লক্ষ্যটির ঘনত্ব কেবল স্পটারিং হারকেই প্রভাবিত করে না, বরং ফিল্মের বৈদ্যুতিক এবং অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্যগুলিকেও প্রভাবিত করে। লক্ষ্য ঘনত্ব যত বেশি, ফিল্মের পারফরম্যান্স তত ভাল। তদ্ব্যতীত, লক্ষ্যটির ঘনত্ব এবং শক্তি বাড়ানো লক্ষ্যটিকে স্পটারিং প্রক্রিয়াটির তাপীয় চাপগুলি আরও ভালভাবে প্রতিরোধ করতে দেয়। ঘনত্বও লক্ষ্য উপাদান, শস্যের আকার এবং শস্য আকার বিতরণের অন্যতম মূল কার্যকারিতা সূচক।
সাধারণত লক্ষ্যটি পলিক্রিস্টালাইন কাঠামো হয়, শস্যের আকারটি মাইক্রন থেকে মিলিমিটারে হতে পারে। একই ধরণের লক্ষ্যমাত্রার জন্য, সূক্ষ্ম শস্যগুলির সাথে লক্ষ্যটির স্পটারিং হার মোটা শস্যগুলির সাথে লক্ষ্যমাত্রার চেয়ে দ্রুততর; এবং শস্যের আকার (অভিন্ন বিতরণ) এর সামান্য পার্থক্যের সাথে লক্ষ্যটিকে স্পটারিং দ্বারা জমা দেওয়া ফিল্মের বেধ বিতরণ আরও অভিন্ন।