টাইটানিয়াম উপাদানের একটি ধাতব দীপ্তি রয়েছে এবং এটি নমনীয়। শব্দটি 5090 মি/সেকেন্ডের হারে এটির মাধ্যমে ভ্রমণ করে। টাইটানিয়ামের প্রধান বৈশিষ্ট্যগুলি হ'ল এর কম ঘনত্ব, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি এবং মেশিনিংয়ের স্বাচ্ছন্দ্য। নতুন টাইটানিয়াম খাদের ভাল তাপ প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে এবং এটি দীর্ঘ সময়ের জন্য 600 ℃ বা তার বেশি ব্যবহার করা যেতে পারে। চীনের সংহত সার্কিট, ফ্ল্যাট প্যানেল প্রদর্শন, সৌর শক্তি এবং অন্যান্য শিল্পের দ্রুত বিকাশের সাথে সাম্প্রতিক বছরগুলিতে বৈদ্যুতিন তথ্যের ক্ষেত্রে একটি গুরুত্বপূর্ণ কার্যকরী পাতলা ফিল্ম উপকরণ হিসাবে উচ্চ-বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম হিসাবে, চাহিদা দ্রুত বাড়ছে। ম্যাগনেট্রন স্পটারিং প্রযুক্তি পাতলা ফিল্ম উপকরণ প্রস্তুতির জন্য অন্যতম মূল প্রযুক্তি এবং উচ্চ-বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম স্পটারিং লক্ষ্যটি চৌম্বকীয় স্পটারিং প্রক্রিয়াতে একটি মূল গ্রাহ্যযোগ্য, যার একটি বিস্তৃত বাজারের প্রয়োগের সম্ভাবনা রয়েছে। বৈদ্যুতিন তথ্য উত্পাদন শিল্পের জন্য মূল উপকরণগুলির স্বাধীন বিকাশ উপলব্ধি করার জন্য এবং টাইটানিয়াম শিল্পকে উচ্চ-প্রান্তে রূপান্তর ও আপগ্রেড করার প্রচারের জন্য উচ্চ-পারফরম্যান্স টাইটানিয়াম স্পটারিং টার্গেটের বিকাশ একটি গুরুত্বপূর্ণ ব্যবস্থা।
টাইটানিয়াম টার্গেট অ্যাপ্লিকেশন এবং পারফরম্যান্স প্রয়োজনীয়তা চৌম্বকীয় স্পটারিং - টিআই লক্ষ্যগুলি মূলত ইলেকট্রনিক্স এবং তথ্য শিল্পে যেমন ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট, ফ্ল্যাট প্যানেল প্রদর্শন এবং বাড়ির গৃহসজ্জা এবং মোটরগাড়ি শিল্পের আলংকারিক লেপ অঞ্চল যেমন গ্লাস আলংকারিক লেপ এবং হুইল আলংকারিক লেপ হিসাবে ব্যবহৃত হয়।
বিভিন্ন শিল্প টিআই লক্ষ্য প্রয়োজনীয়তাগুলিও খুব আলাদা, মূলত সহ: বিশুদ্ধতা, মাইক্রোস্ট্রাকচার, ওয়েল্ডিং পারফরম্যান্স, বিভিন্ন দিকের মাত্রিক নির্ভুলতা, নির্দিষ্ট সূচকগুলি নিম্নরূপ।
1) বিশুদ্ধতা: অ-সংহত সার্কিটের জন্য 99.9%; সংহত সার্কিটের জন্য 99.995% এবং 99.99%। 2) মাইক্রোস্ট্রাকচার: অ-সংহত সার্কিট: 100μm এর চেয়ে কম গড় শস্যের আকার; ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট: 30μm এর চেয়ে কম গড় শস্যের আকার, 10μm এর চেয়ে কম আল্ট্রা-ফাইন স্ফটিকের গড় শস্যের আকার
3) ওয়েল্ডিং পারফরম্যান্স: অ-সংহত সার্কিট: ব্রেজিং, একচেটিয়া; ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট: মনোলিথিক, ব্রেজিং, বিচ্ছুরণ ld ালাই
4) মাত্রিক নির্ভুলতা: অ-সংহত সার্কিটের জন্য: 0.1 মিমি; অ-সংহত সার্কিটের জন্য: 0.01 মিমি
1। চৌম্বকীয় স্পটারিং তি লক্ষ্য প্রস্তুতি প্রযুক্তি
টিআই টার্গেট কাঁচামাল প্রস্তুতি প্রযুক্তি উত্পাদন প্রক্রিয়া অনুসারে বৈদ্যুতিন মরীচি গলানো ফাঁকা এবং ভ্যাকুয়াম স্ব-অনুপাতের আর্ক ফার্নেস গলিত ফাঁকে (দুটি বিভাগ) বিভক্ত করা যেতে পারে, লক্ষ্য প্রস্তুতি প্রক্রিয়াতে, উপাদান বিশুদ্ধতার কঠোর নিয়ন্ত্রণ ছাড়াও, ঘনত্বের কঠোর নিয়ন্ত্রণ ছাড়াও , শস্যের আকার এবং স্ফটিক ওরিয়েন্টেশন, তাপ চিকিত্সা প্রক্রিয়া শর্তাদি, পরবর্তী ছাঁচনির্মাণ এবং প্রসেসিংকে লক্ষ্যটির গুণমান নিশ্চিত করার জন্য কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করা দরকার। উচ্চ-বিশুদ্ধতার জন্য টিআই কাঁচামালগুলি সাধারণত টিআই ম্যাট্রিক্সে অপরিষ্কার উপাদানগুলির উচ্চ গলনাঙ্কটি অপসারণ করতে প্রথমে গলিত তড়িৎ বিশ্লেষণ পদ্ধতিতে ব্যবহৃত হয় এবং তারপরে ভ্যাকুয়াম ইলেক্ট্রন মরীচি গলানো আরও শুদ্ধ করার জন্য ব্যবহৃত হয়। ভ্যাকুয়াম ইলেক্ট্রন মরীচি গলনা হ'ল ধাতব পৃষ্ঠের উচ্চ-শক্তি ইলেক্ট্রন বিম স্ট্রিম বোমা হামলা ব্যবহার, এরপরে তাপমাত্রায় ধীরে ধীরে বৃদ্ধি হয় যতক্ষণ না ধাতব গলে যায়, উপাদানগুলির বাষ্পের চাপ পছন্দসইভাবে উদ্বিগ্ন হবে, উপাদানগুলির উপাদানগুলির বাষ্প চাপটি পছন্দসই হবে ছোট উপাদানগুলি গলে যায়, অপরিষ্কার উপাদানগুলির বাষ্প চাপ এবং স্তরগুলির মধ্যে পার্থক্য তত বেশি, পরিশোধনটির প্রভাব তত ভাল। গলে যাওয়ার পরে ভ্যাকুয়াম পরিশোধন করার সুবিধাটি হ'ল টিআই ম্যাট্রিক্সের অপরিষ্কার উপাদানগুলি অন্য অমেধ্যের পরিচয় না দিয়ে সরানো হয়। অতএব, যখন উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশে ইলেক্ট্রন মরীচি 99.99% ইলেক্ট্রোলাইটিক টিআই গলে যায়, তখন কাঁচামালগুলিতে অপরিষ্কার উপাদানগুলি (আয়রন, কোবাল্ট, তামা) যার স্যাচুরেশন বাষ্পের চাপ টিআই উপাদানটির স্যাচুরেশন বাষ্পের চাপের চেয়ে বেশি হয় তা পছন্দসইভাবে পছন্দসই হবে , যাতে ম্যাট্রিক্সে অপরিষ্কার সামগ্রী হ্রাস পাবে, এইভাবে শুদ্ধির উদ্দেশ্য অর্জন করে। দুটি পদ্ধতির সংমিশ্রণটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা টাইটানিয়াম ধাতুর 99.995 এরও বেশি বিশুদ্ধতা পাওয়া যায়।
2.ti টার্গেট মেটাল টাইটানিয়াম লক্ষ্য ব্লক প্রযুক্তিগত প্রয়োজনীয়তা
জমা হওয়া ফিল্মের গুণমান নিশ্চিত করার জন্য, লক্ষ্য উপাদানের গুণমানটি অবশ্যই প্রচুর পরিমাণে অনুশীলন দ্বারা কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে হবে, বিশুদ্ধতা, গড় শস্যের আকার, স্ফটিকলোগ্রাফিক ওরিয়েন্টেশন এবং কাঠামোগত অভিন্নতা সহ টিআই টার্গেট উপাদানগুলির গুণমানকে প্রভাবিত করে এমন প্রধান কারণগুলি , জ্যামিতি এবং আকার।